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鎵液態離子源
睿勵科學儀器公司自主開發生產的鎵液態離子源 (LMIS) 是應用于聚焦粒子束(FIB)設備的關鍵部件,在科學研究和工業開發,包括材料科學、生命科學、半導體工業等領域有著廣泛而重要的用途。工作機理液態離子源是由一枚場發射針尖和其上覆蓋的液態金屬所組成的,在足夠的高壓電場作用下,由于場蒸發和離子化的作用...