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FSD200μ--自動宏觀缺陷檢測系統,適用于200mm硅片……

FSD200μ自動宏觀缺陷檢測系統簡介
睿勵微電子設備(上海)有限公司生產的自動宏觀缺陷檢測系統(FSD200u),具有快速,準確,可靠和低成本等優點,可用于工藝及產品質量檢測,從而提高硅片制造的良率和品質。
系統特性
FSD200u適用于150mm至200mm硅片,兩系統均可用于有圖案及無圖案硅片(Patterned and Un-patterned Wafers)。

  • 可用于硅片進廠(IQC)和出廠的檢驗(OQC) 、化學機械拋光(CMP)、光刻(Photolithography)、刻蝕(Etch)、薄膜(Thin Film) 、硅穿孔 (TSV)? 集成封裝等工藝,檢測出各個工藝過程里關鍵的缺陷。

  • 可高速掃描硅片的全表面,自動存儲硅片全景圖像、缺陷分類,和輸出缺陷檢測結果。

  • 大量減低工程判斷耗費時間,強化工藝監控 (SPC),并結合硅片成品管理(Ink-out)。


FSD200μ--自動宏觀缺陷檢測系統,適用于200mm硅片……