產品中心

TFX3000P

TFX3000P是應用于12英寸大規模集成電路前端生產線上的薄膜厚度測量設備,該產品已成功銷售給國內和國外知名眾多集成電路制造公司。該系列設備具有高精度,高產能,高性價比的特點,設備穩定可靠,性能與國外同類設備相當,甚至部分領先。


設備主要特點:

?

·? ? ?低持有成本(CoO)、穩定性好,產能高

·? ? ?應用于12英寸集成電路前端生產線

·? ? ?應用范圍:各種透明或半透明介質薄膜,半導體材料薄膜,金屬硅化物薄膜等薄膜厚度、光學常數的測量

·? ? ?性能強大、可靠的圖像識別功能,功能豐富、易用的軟件和算法

·? ? ?高速運動平臺及先進的運動控制算法使得設備具有極高的輸出產能

·? ? ?全面支持工廠自動化要求


TFX3000P