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TFX3000--300mm全自動光學膜厚測量系統

TFX3000--300mm全自動精密薄膜測量系統是睿勵科學儀器(上海)有限公司自主研發和生產的具有完全自主知識產權的集成電路生產線工藝檢測設備。本產品的應用范圍包括刻蝕(Etch)、化學氣相沉積(CVD)、光刻(Photolithography)和化學機械拋光(CMP)等工藝段的測量,能準確的確定半導體制造工藝中的各種薄膜參數和細微變化(如膜厚、折射率、應力等)。


TFX3000--300mm全自動光學膜厚測量系統