睿勵自主研發的新一代光學膜厚量測設備(TFX4000i) 正式交付國內重要客戶
2021年6月20日,睿勵科學儀器(上海)有限公司自主研發的第三代光學膜厚量測設備TFX4000i正式交付客戶,該款設備是一款優秀的應用于大規模集成電路前道生產線的量測設備,該設備繼承了公司二代產品TFX3000P的全部優越性能,在功能上更...
睿勵首臺自主研發的光學缺陷檢測設備出貨
2021年4月18日,睿勵首臺自主研發的高精度光學缺陷檢測設備(WSD200)裝箱出貨,交付國內知名客戶,這是睿勵研發的光學缺陷檢測設備進入集成電路晶圓缺陷檢測市場的重大突破。? ? ? ?隨著集成電路制造工藝不斷提升,集成電路前道工藝檢測...
轉載:重磅!睿勵科學儀器獲中微新一輪1億元戰略投資!
轉載:重磅!睿勵科學儀器獲中微新一輪1億元戰略投資此文章轉自:浦東科創集團?張通社?張通社 zhangtongshe.com|張江高新區科技通訊社|張通社3月1日晚間獲悉,近日中微半導體設備(上海)股份有限公司(以下簡稱“中微”)完成對睿勵...
睿勵300mm芯片生產線光學薄膜量測設備TFX3000P再次出貨!
2020年12月28日,睿勵自主研發生產的用于集成電路300mm芯片生產線的光學薄膜量測設備TFX3000P再次裝箱出貨,這也是9月份以來出貨的第三臺光學膜厚測量設備。同月,睿勵首臺用于集成電路制造高分辨率缺陷檢測設備也完成出貨并交付客戶。...